七〇九所“微电子标准物质制备技术”获国家发明专利

点击： 由七〇九所（国防科技工业微电子一级计量站）研制的“微电子标准物质制备技术”于近日获得国家发明专利授权。该项技术是微电子标准物质制备的重要基 础，也是健全国家国防微电子计量量值体系的重要条件。该项发明专利授权奠定了建立国防军工微电子量值溯源体系的技术基础，对微电子计量测试产业化将发挥重 要作用。